半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測(cè)系統(tǒng)介紹：

醋酸、草酸 、胺類、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷（HMDS）、鄰苯二甲酸二辛酯（DOP）、鄰苯二甲酸二丁酯（DBP）、鄰苯二甲酸二乙酯（DEP）、異丙醇、丙酮、硼酸*酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機(jī)物

空氣分子污染物 (AMC) 對(duì)于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機(jī)污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素，會(huì)導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。

無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo)，通過污染物源頭控制、傳播控制，實(shí)時(shí)監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級(jí)過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)，持久監(jiān)測(cè)AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等。

半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測(cè)系統(tǒng)亮點(diǎn)

一般特點(diǎn)

在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測(cè)全部自動(dòng)化系統(tǒng)

低濃度VOC監(jiān)測(cè)

獨(dú)立分開測(cè)量有機(jī)物成份

Sub-ppb檢測(cè)限

集成計(jì)算機(jī)和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能。

工作原理

GC氣相色譜是分離多種復(fù)雜混合物常用的技術(shù)，這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機(jī)混合氣體在色譜柱的多組份分離。

當(dāng)不同的揮發(fā)性有機(jī)物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測(cè)器探測(cè)電導(dǎo)率的變化，從而確定不同組份的濃度，*的吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達(dá)到sub-ppb檢測(cè)限。