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潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內部來自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設備維護修理時散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

增強離子遷移譜氣體分析儀可提供達100 FWHM的分辨率，足以分辨異構體成分。SIMS的一大優(yōu)勢是可以使用環(huán)境大氣作為緩沖氣，這一優(yōu)勢就把使用成本減低為零。 SIMS儀器的離子遷移譜技術通過電暈放電（CD）電離源提升了靈敏度。

煤自燃束管監(jiān)測基于紅外光聲光譜技術，具有測量精度?、檢測限低、實時性好、原位在線、?效測量等優(yōu)點， 可作為煤自燃大樣實驗臺和小樣實驗臺監(jiān)測系統(tǒng)，也可為煤火災害消防及火災科學等多個方向的科學研究提供實驗條件和煤礦?產(chǎn)提?效率。

AMC監(jiān)測快速監(jiān)測、報警、極低濃度測量、寬測量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應等是半導體工業(yè)要求之一。

電池熱失控監(jiān)測是指通過各種傳感技術和數(shù)據(jù)分析手段，實時監(jiān)控電池的狀態(tài)，以便在電池發(fā)生熱失控之前及時發(fā)現(xiàn)并采取相應的措施。